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国内大型企业纷纷布局半导体光刻胶，谁将“领

光刻胶的发展是摩尔定律运行的核心动力，由于光刻胶技术壁垒极高，国内企业主要在面板光刻胶、PCB光刻胶等低端领域实现进口替代，高端半导体光刻胶供货的企业屈指可数。
 
随着国内新建晶圆厂的密集投产，市场需求增长，半导体光刻胶未来有很大的拓展空间。当前，国内大型公司纷纷进入光刻胶领域，其中上市公司就有南大光电、晶瑞股份、上海新阳、彤程新材、广信材料、普利特、恒坤股份等。
 
 
南大光电
 
2012年，南大光电登陆创业板后，攻克国家863计划“MO源（高纯度金属有机化合物）产业化”课题；入股北京科华并对外宣称，共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发，或许项目进展不顺等原因影响，南大光电最终转让北京科华股权。
 
2017年，公司承担国家02专项“集成电路芯片制造用关键核心材料193nm光刻胶材料的研发与产业化项目”，采购荷兰ASML浸没式光刻机，完成一条193nm光刻胶生产线的安装。
 
今年11月6日，南大光电披露向特定对象发行股票预案，募集资金总额不超过63,500.00万元，扣除发行费用后的净额将用于光刻胶项目、扩建2000吨/年三氟化氮生产装置项目、补充流动资金。项目投产后，公司将达到年产25吨193nm（ArF干式和浸没式）光刻胶产品的生产规模，产品性能满足 90nm-14nm 集成电路制造的要求。
 
近日，公司控股子公司宁波南大光电自主研发的 ArF 光刻胶产品已成功通过客户的使用认证。
 
 
晶瑞股份
 
晶瑞股份全资子公司苏州瑞红，主要生产半导体用光刻胶和平板显示用光刻胶，包含紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g/i线正胶等高端产品，承担了国家重大科技项目02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目，率先实现i线光刻胶的量产，产品采用步进重复投影曝光技术，可以实现0.35um分辨率。
 
2020年，晶瑞股份斥资7500万元进口韩国SK海力士二手ASML光刻机设备，全力开展集成电路制造用高端ArF光刻胶研发项目，用于研发最高分辨率为28nm的高端光刻胶。
 
10月9日，晶瑞股份发布公告称，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过 Singtest Technology PTE. LTD.进口 ASML 光刻机设备，总价款为1,102.5万美元。
 
 
上海新阳
 
上海新阳此前在投资者互动平台上表示：
 

  • 斥资购置ASML1400型（55nm）二手光刻机，用于光刻胶的研发；

  • 参股的博砚电子主要生产LCD光刻胶，处于快速起量阶段；

  • 存储芯片用半导体厚膜KRF配套光刻机完成中试；

  • 集成电路制造用193nm ArF光刻胶及配套材料与应用技术。

 
12月14日，上海新阳发布公告称，公司ArF干法光刻胶和KrF厚膜光刻胶的研究阶段均已完成，产品配方及生产工艺等已基本确定，中试产品已通过客户基础工艺考核，后续将进行客户上线验证及量产前测试验证，预计KrF厚膜光刻胶2022年可实现量产，ArF干法光刻胶2023年开始量产，当年各项产品销售收入合计预计可达近2亿元。
 
 
彤程新材
 
近年来，彤程新材正加快电子化学品业务布局。公司于今年成立了全资子公司上海彤程电子材料有限公司，投资5.6988亿元在上海化学工业区建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目等。

与此同时，公司在年内还收购了北京科华微电子33.7%的股权，成为其第一大股东，目前北京科华是国内光刻胶制备及研发实力最强的企业之一。
 
2020年7月2日，公司全资子公司“彤程电子”斥资212.83万美元并购国内光刻胶行业龙头——北京科华微电子材料有限公司33.70%股份。
 
 
广信材料
 
2018年11月25日，公司与广至新材料有限公司签订《技术委托开发合同》，开发用于LCD/LED平面显示面板、半导体、PCB柔性板用光刻胶紫外光正型光刻胶。
 
该项目已在台湾实验室取得部分研发成果，其中平面显示面板用光刻胶有部分产品已经由台湾广至在中国台湾地区实现销售，相关技术生产出来的产品性能及质量可满足中国台湾地区客户的实际使用需求。
 
据了解，广信材料《湖南广裕感光新材料有限公司年产1,920吨光刻胶建设项目》环评已获批，公司将继续加快推进光刻胶项目建设所需的政府相关部门报批、资金筹措、厂房建设等工作。
 
 
普利特
 
公开资料显示，普利特半导体参股投资了苏州理硕科技有限公司，该公司目前正处于产品研发阶段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻胶产品的企业。
 
2019年11月，普利特控股子公司上海普利特半导体材料有限公司拟以现金的方式向苏州理硕投资2,000万元用于光刻胶产品开发。
 
 
恒坤股份
 
2016年10月，公司与韩国锦湖化工达成战略合作意向，开拓光刻胶市场。2018年9月6日，公司全资子公司 HENGKUNPRECISION INDUSTRY(HK) 取得国内知名存储器IC大厂订单，总金额为2万美元，订单标的物为Krf光刻胶（Photoresist），这是公司取得的第2家IC大厂光刻胶订单。
 
目前，恒坤股份已经掌握了光刻胶与前驱体的研发和生产，并于2019年初在漳州设立了光刻胶生产基地和在大连设立了前驱体生产基地。
 

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除了以上上市企业外，实体经济企业明泉集团下属子公司明士新材料亦有布局研发光刻胶材料。
 
明士新材料是一家专业从事超大规模集成电路制造与封装、光电平板显示用聚合物材料的研发、生产、销售和技术服务的企业，其研究中心位于北京中关村顺义产业园，生产基地位于山东济南。

 

来源：势银膜链