抢跑启动EUV光刻胶业务，富士胶片目标2024年市占
当前，EUV光刻胶的关注受到越来越多，能否制造出高端的EUV光刻胶，也将成为一个国家、一个企业能否在未来光刻技术领域获得一席之地的关键判断条件。日本企业在发展EUV光刻胶上一直是不遗余力，日刊工业新闻近日有报道称，日本富士胶片已正式启动EUV光刻胶业务，目标在2024年之前获得全球的10%市场占有率。富士胶片在生产据点导入高准确度的质量检查设备等，目前已经展开样品出货，计划最快在2021年的前半开始量产。由于AI人工智能、IoT物联网以及5G通讯的普及，半导体制程也朝着细微化进展。此外，应用EUV的光刻技术，也预估需求量将有所增长。富士胶片子公司、从事半导体材料业务的富士电子材料公司 (FFEM)，在日本静冈工厂全新投资约15亿日元（约人民币9424万元），安装了最先进EUV制程用途的半导体材料质量评估设备。公司将通过此次导入最先进检查设备，来提升质量并确保供货稳定。富士电子材料公司为了研发生产EUV光刻胶，包含这回导入的检查设备在内，一共投资了45亿日元（约人民币2.8亿）。该公司生产ArF光刻胶的经验，也有助于新产品的研发生产。富士胶片位在美国的据点，进行化学机械研磨液 (CMP Slurry) 的研发生产，为了提升显影液纯度，该公司也从2018年12月起进行100亿日元（约人民币6.2亿元）的投资，强化半导体材料的竞争力，而在疫情影响下，远距工作的普及等，都使得半导体材料需求上升。除了富士胶片外，住友化学也计划在2022年开始量产自己的EUV光刻胶。值得一提的是，全球的EUV光刻胶市场原本就是由日本企业所主导，全球90%左右的市场份额为日本的JSR和Shin-EtsuChemical等所占据，富士胶片以及住友化学的加入，都将加强日本在EUV光刻胶领域的垄断。
来源：钜亨网
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